近日，国家发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》

在电子专用装备目录下，集成电路设备方面出现了氟化氩光刻机和氟化氪光刻机，这两者均属于DUV光刻机。 其中氟化氩光刻机显示为分辨率≤65nm、套刻≤8nm；氟化氪则显示分辨率≤110nm、套刻≤25nm。

舆论为之沸腾，当然了，虽然不是什么高端光刻机，但是能够实现中低端替代是没有问题的。的确是里程碑式的突破，并且这种突破可能早已经实现，只不过等待现在来发布罢了。对芯片板块是利好。